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氮化镓器件技术应用现状及趋势
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氮化镓(GaN)材料是宽禁带材料的一种,适于制造高频大功率、耐高温、抗辐射半导体微电子器件等,在军民两用领域均有巨大的应用前景。经过自21世纪以来美国等国家的持续推动,GaN器件和工艺技术快速成熟,产品大量上市,并已用于多个在研武器中。GaN器件已在性能、尺寸、可靠性和成本间取得平衡,并开始逐步替代市场上成熟的砷化镓(GaAs)和硅横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件,市场前景极其广阔。

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