物联网的研究已经成为国内甚至全世界的热潮，它被称为世界信息产业的第三次革命，与之相关的产业将具有巨大的发展前景。本文重点介绍了物联网核心技术之一——微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)技术、发展以及在物联网产业中的作用和发展状况。同时本文介绍了微机电系统中的微致动器和微传感器在物联网中的相关应用产品以及潜在的应用前景。