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氮化镓器件技术应用现状及趋势
摘要
氮化镓(GaN)材料是宽禁带材料的一种,适于制造高频大功率、耐高温、抗辐射半导体微电子器件等,在军民两用领域均有巨大的应用前景。经过自21世纪以来美国等国家的持续推动,GaN器件和工艺技术快速成熟,产品大量上市,并已用于多个在研武器中。GaN器件已在性能、尺寸、可靠性和成本间取得平衡,并开始逐步替代市场上成熟的砷化镓(GaAs)和硅横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)器件,市场前景极其广阔。
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作者简介

冯园园: 冯园园,国家工业信息安全发展研究中心(工业和信息化部电子第一研究所)高级工程师,研究方向为集成电路、半导体、军用电子元器件等。

张洁雪: 张洁雪,国家工业信息安全发展研究中心(工业和信息化部电子第一研究所)工程师,研究方向为人工智能、信息服务等。

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