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微机电系统技术在物联网中的应用
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摘要
物联网的研究已经成为国内甚至全世界的热潮，它被称为世界信息产业的第三次革命，与之相关的产业将具有巨大的发展前景。本文重点介绍了物联网核心技术之一——微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)技术、发展以及在物联网产业中的作用和发展状况。同时本文介绍了微机电系统中的微致动器和微传感器在物联网中的相关应用产品以及潜在的应用前景。
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关键词： 物联网微机电系统(MEMS)微传感器微致动器
作者简介

方续东： 美国佐治亚理工大学在读博士研究生和研究助理，目前从事高分子材料在MEMS领域应用的研究，主要为MEMS传感器技术

王慧慧： 意大利帕多瓦大学人权研究中心博士研究生。

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