根据科技服务业的内涵，将其划分为五大细分行业，以上海市、江苏省、浙江省、安徽省为主要研究对象，采用2010～2016年投入与产出数据，构建超效率DEA模型，并采用视窗分析评价沪苏浙皖科技服务业细分行业发展效率。研究结果表明：规模无效率是导致科技服务业综合技术效率未达到有效的共性因素；我国科技服务业需要优化其投入产出结构，扩大规模效应；沪苏浙皖4省份科技服务业综合技术效率水平及趋势具有显著差异。